不同氬流量氧化銦錫之性能分析 - 聖約翰科技大學

控制壓力、濺鍍功率和溫度參數等，獲得良好的導 ... 在濺. 鍍過程中調整不同的參雜 量和基板溫度，了解薄膜. 性質與製程參數之關係， ... 關鍵字：濺鍍機、ITO、膜厚. 1.

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