下列製程的原理功能? - Yahoo!奇摩知識+

(a)氧化 (b)沉積 (c) 擴散 (d)離子植入 (e)蝕刻試述上列 製程的 原理功能 ... (a) 利用氧與矽的氧化作用形成二氧化矽薄膜的 ...

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