一般氣體(CDA N2 O2 Ar He H2)特殊氣體(NH3 SiH4 NF3 CL2 BCL3 HCL SiH2CL2 SiH6 B2H6 ASH3 N2O NO CO2 HBr CO CH4 SF6 CF4 C2F6 C3F8 CHF3)管路配置工程,氣體供應系統 ,凡舉供應氣體之來源機台,和分歧閥箱及管路的相關配置工程。 川研公司 ...
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