一種懸浮結構之微型可變電容及其製程方法 - NCHUIR - 國立中興大學

2012年10月26日 ... 摘要: 一種懸浮結構之微型可變電容及其後製程方法,其結構係為一晶片基板,該晶片 基板上有一上電極板、複數個固定板、複數條懸臂樑彈簧、一感測 ...

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