一、前言

... 所排放之廢氣為酸鹼性氣體主要為鹽酸、NH3、Cl2、氫氟酸、硝酸、磷酸、硫酸液滴、氨氣及粒狀物，廢氣 ... 量＜0.6 kg/hr或削減率≧90％，C、D、G及H皆屬於半導體業且都符合其中一項規定；光電業空氣污染物排放標準草案規定每廠之排放量＜0.6 ...

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