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微機電感測器之設計與製作知識摘要

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  • 生醫微奈米感測器及致動器晶片(田維誠教授) - 台大電機系
    本文將介紹以微機電系統(MEMS)之晶片製作技術用於研發微奈米感測器. 致動器 晶片及在生物醫療及檢測之應用,並將著重於體內醫療檢測應用領域加以介. 紹闡述 。本文將以微型 .... 缺點在於這種製做方式探針的最大長度將受限. 於wafer 的厚度,  ...

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  • 下一波生物晶片——微流體生醫晶片 - 國內學術電子期刊系統
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  • 陳國聲 | 國立成功大學機械工程學系
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    熱電型紅外線感測器是根據黑體輻射原理,當它吸收紅外線. 光的能量時,材料本身 ... 式流量感測器原理. ▫ 熱式流量感測器主要由加熱元件及溫度感測元件,所組成之.

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    Title: CMOS-MEMS超音波感測器之設計與製作. Other Titles: Design and fabrication of CMOS-MEMS ultrasonic sensors.

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