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流量の単位と換算ツール-アリオス株式会社- 真空装置においては、各種ガスを真空装置内に導入することがよくあります。 このときの 流量の単位が、sccm ccm slm などです。
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流量の単位SLMをL/minに換算する場合は、どうしたらいいのでしょうか？ - Yahoo!知恵袋 【ベストアンサー】sccm=ml/min slm=l/min と考えればいいです。 http://www.arios.co.jp/library/p8.html メーカー独自の単位です。 流量はJCSSやNISTがある筈なのですが、 単位は管理していないようです。
Mass Flow Controller - 株式会社フジキン｜特殊精密ながれ(流体)機器の研究開発・設計・製造・販売・サービス 高機能デジタルモデル FCST1000（M）F 0点出力の安定性向上 高性能・高信頼性 アナログ / RS485、DeviceNetTM、EtherCAT 入出力 メタルシール / ラバーシール シール材 型式 流量レンジ（N2換算流量） バルブタイプ
Flow Control System - 株式会社フジキン｜特殊精密ながれ(流体)機器の研究開発・設計・製造・販売・サービス ワイドレンジモデル FCSP7000W 〈仕様〉 型式 FCSP7000W / FCSP7000DW タイプ 標準タイプ 低圧（AS）タイプ 低圧（B）タイプ 供給圧力範囲 250～898.7 kPaG 20～898.7 kPaG 50～898.7 kPaG 流量レンジ（N2換算） 20 SCCM － 10 SLM 27 SCCM － 1 SLM 39 ...
高性能 マスフローメータ マスフローコントローラ 区 ⨋ 分 汎 用 高 ⨋ 性 ⨋ 能 形 ⨋ 式 HM5172B HM5182B（NO） HM5173B HM5141B HM5151B（NO） HM5142B HM5152B（NO） HM5143B 流 ⨋ 量 （標準レンジ） 30/50/100/200 SLM 400⨋SLM 5/10/20/30/50 100/200/300/500
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