气体质量流量控制器_互动百科 首先区分一下气体质量流量控制器（MFC）与气体质量流量计（MFM），MFC是带有控制气体质量流量的装置，而MFM是不具有控制气体质量流量功能的装置。
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半導體科技.先進封裝與測試雜誌 - 以質流控制系統技術改進機台與製造程序 - Semicondutor Magazine 一個常數值的轉換係數被用來計算預期的 流量。值得注意的是，當與圖一所使用的 MFC比較時， 流量 ...
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