第六章 無塵室的配置 6章 無塵室的配置 6.1前言 無塵室的建築佈局和淨化空調系統有密切的關係，淨化空調系統既要服從建築佈局的總體，建築佈局也必須符合淨化空調系統的原則，才能充分發揮相關功能作用。 6.2 無塵室的平面配置
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成功大學微奈米科技研究中心無塵室規範 2013年11月8日 ... 無塵室24 小時開放各界使用，預約機台或濕式蝕刻區後，可進入無塵室。 ... 無塵室之 使用(含儀器、化學藥品使用等)請遵照各設備管理規範，若有 ...
