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微波退火原理知識摘要

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    原子層沉積(ALD) 物理氣相沉積(PVD) Pt薄膜 中間氧化層 快速熱 退火(RTP) 微波退火(MWA) ... 江蘇 ...

  • 微波功率和真空退火對a-C:F,H膜結構和性質的影響.pdf-畢業論文-全文在線閱讀-文檔投稿賺錢網
    蘇州大學碩士學位論文 微波功率和真空 退火對a-C:F,H膜結構和性質的影響姓名:黃峰申請學位級别:碩士專業:凝聚態物理指導教師: ... . ...

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