半導體製程及原理 半導體工業的製造方法是在矽半導體上製造電子元件 (產品包括:動態記憶體、靜態記億體、微虛理器…等),而電子元件之完成則由精密 ... (5)純水設備再生廢水:NaOH、HCl、H 2 O 2。 (6)濕式洗滌塔廢水:洗滌廢氣所含之污染質。 2. IC構裝製造作業主要污染源為切割 ...
半導體污染防治 而半導體製程所使用的化學物質品種繁雜,其廢氣處理也可區分成許多不同性質處理方式。 本章將介紹關於無塵室中之集氣系統,與各類空氣污染物處理原則與技術。 空氣污染物收集系統 半導體製造是種高度精密化的工業,一些細微的環境或操作變動都有 ...
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Abstract - 國立中央大學 雖然以雙塔串聯之填充式濕式洗滌塔去除含氨廢氣效果頗佳,但其. 廢氣中含氨濃度 極高, .... 2.1.1 發光二極體之發光原理.
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排氣系統概說 依據液體蒸發速率,TLV值計算換氣量,適用於毒性物質: .... 管路設計: 計算各段的風 管壓損,及壓力平衡 c. 尾氣處理設計: 適合排氣成分的處理設備,例如集塵,濕式 ...