奈米科技史及其展望

中華科技史學會會刊第八期（2005 年1 月） ~ 45 ~ 程幾乎逼近物理學的極限（limit）。已逼近「摩爾定律」的真正極限。過去微米 製程（micro-manufacturing method）是“Top down“（頂下）製程則利用光刻、切 割、或研磨等方法。

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