真空溅射镀膜-讲义_中华文本库

誠真企業有限公司 濺射鍍膜之必要製程可分三大項，即： 真空排氣 （Pumping） 氣體導入 （Gas introducing） 放電 （Discharge） 1.真空排氣 如一般之真空系統，可使用油擴散真空幫浦（Oil diffusion pump），渦輪分子真空 幫 浦 （ Turbomoleular pump ） 等 高 ...

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