材料世界網:紅色與黑色負型光阻液之回收與再生技術

在CF 製程中使用的彩色光阻劑，經塗佈後僅少數留於玻璃基板上，大部分的彩色光阻殘留在塗佈機台上；這些殘留的彩色廢光阻未經曝光，可經收集而回收處理再回製程使用。廢光阻回收使用除可節省開銷外，亦可達到資源永續利用之目的，並提升企業 ...

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