奈米壓印微影技術是一種通用、具成本效益的高生產力方法,其已被驗證可用於建立10 nm以下結構的優異特性,成為目前製作微奈米結構之關鍵技術;其應用目標廣泛,包括資料儲存元件、光學元件、生物感測器及半導體製程開發等都很有發展潛力。近來 ...
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