奈米通訊。第十一卷第一期

張育誠、劉福鯤、黃佩雯、范瑞雲、朱鐵吉、柯富祥 利用感應耦合電漿於室溫沉積高品質微晶矽薄膜 謝嘉民、賴一凡、戴寶通、吳嘉鴻、吳耀銓 沉積二氧化矽薄膜之化學氣相控制 薛漢鼎、翁敏航、林育德、湯淵富、蔡來福、洪茂峰、戴寶通

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