國研院奈米元件實驗室

湯淵富/蔡來福 6624/6625 B1 5樓R5202 SE-015 晶片接合設備(Wafer bonding) 蔡來福/陳永祥 6625/6609 B1 5樓R5202 SE-016 熱蒸鍍機(Thermal coater) 湯淵富/陳永祥 6624/6609 B2 5樓R5202 SE-017 光罩對準曝光機(Mask aligner MJB3) 湯淵富/蔡來福 6624/6625

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