1982 年 本公司成立於新竹市,主要營業項目為維修及販賣真空幫浦,與新竹科學園區內 多家廠商配合。 1990 年轉型研發真空系統,以小型研究系統為主,主要供應各學術單位實驗使用。 1995 年開始研發小型量產設備,提供各晶元及光電廠研發用。
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