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電子工業標準氣體 氣體 濃度範圍 平衝氣 氣體 濃度範圍 平衝氣 H 2 100ppm~4% N 2 PH 3 10ppm~15% H 2 ．N 2 ．Ar．He HC1 10ppm~10% N 2 、He B 2 H 2 HC1+H 2 HC1 5% N 2 AsH 3 H 2 1% SiH 4 電子高純度氣體 氣體 分子式 ...

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