三豐氣體有限公司

氣體 分子式 純度(%) 氣體 分子式 平衝氣 Ammonia NH 3 5N~6N Halocarbon c318 C 4 F 8 4N Arsine AsH 3 5N~6N Hydrogen bromide HBr 5N Boron trichloride BCl 3 4N~5N Helium He 4N~6N Boron trifluoride BF 3 3N~5N Hydrogen fluoroide HF 4N Chlorine Cl 2 4N~5N Methylsilane CH 3 SiH

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