MEMS

參 考 資 料 相關網站 分子機械 1. 吳東權, 陳秉中, 周敏傑, 鄭建華, 洪春長, 董月嬌, "微機電系統發展概況", 中國機械工程學會雙月刊, 203期, p.57-65. 2. 吳東權, 陳秉中, 周敏傑, 鄭建華, 洪春長, 董月嬌, "微機電系統之基本技術",

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