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超精密加工參數之探討

...助理教授在AFM量測上所提供之協助,特此致謝。 五、參考文獻 [1] 高道鋼,超精密加工技術,全華科技圖書,台北(2001)。 [2] 陳政雄,超精密奈米加工技術之進展、應用與未來... - 相關資訊

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