機械競賽北台與北科大奪金-文教新聞-yam天空新聞

2010年11月3日 - 台北科技大學自動化科技研究所碩士生李昆峰表示，白光干涉量測系統一般用來檢測微小瑕疵，常用來作品管檢測。一般晶圓檢測通常採抽檢，一旦發現瑕疵就可能要整批報廢，而奈米級白光干涉系統可協助晶圓檢測，包含製程過程或 ...

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