招允佳許金榮談漢微科3658 - 熱血流成河 - 痞客邦PIXNET

2013年6月26日 - 漢微科主要生產跳躍式掃描系統(Leap Scan)、連續式掃描系統(Continuous Scan)及電子束製程監控系統等機台設備，受惠於半導體先進製程不斷演進，對於晶圓缺陷(wafer defect)的檢測精準度愈發殷切，上一代的光學檢測已漸不敷先進製程 ..... 檢測設備主要是對晶圓進行掃描檢測缺陷，找出缺陷並進而幫助提高良率，許金榮指出，因光學檢測解析度有限，約在65奈米製程就會遭遇瓶頸，該公司的電子束檢測採跳躍式結合電子槍技術，適用40、28、20奈米等先進製程晶圓缺

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