招允佳許金榮談漢微科3658 - 熱血流成河 - 痞客邦PIXNET

2013年6月26日 - 檢測設備主要是對晶圓進行掃描檢測缺陷，找出缺陷並進而幫助提高良率，許金榮指出，因光學檢測解析度有限，約在65奈米製程就會遭遇瓶頸，該公司的電子束檢測採跳躍式結合電子槍技術，適用40、28、20奈米等先進製程晶圓缺陷 ...

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